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486章 温柔乡!(2/2)

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不过之前瑞星科技公司从德国蔡司得到的镜组数目非常少,不到十套而已,这也是由于瑞星科技公司设计的曝光头要注进注进高纯度水,镜组必须重新设计。

德国蔡司方面看在中晶微每套报价差未几两千万的重金下才赞助生产了十套,不得不说,德国人在高精密机械制作技巧上还是极为厉害的,最后还是生产出了这么十套镜组。

另外瑞星科技公司跟燕京市的物化所在氟化氪准分子激光光源上合作研发上已经成熟了,这才有了量产第三代光源光刻机的技巧基础。

现在瑞星科技公司试制的光刻机由于采用了沉浸式光刻技巧,大大地缩短了光源的波长,光刻机支撑的极限制程工艺可以达到65纳米。

也就是假如瑞星科技公司在控制氟化氩光源后,极限制程工艺可以达到22纳米!

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